第176章 小赵老师指导写作业
不同的介质对光的透射有不同的影响。
比如水,对193纳米的紫外线有良好的透射效果,可对于波长更短的65纳米激光就是噩梦,折损率太高,基本相当于不透明液体。
而光学研究室的课题不光研究不同波长的光线穿透不同介质的影响,还要研究怎么把不同的晶体打磨成透镜。
这里面又分成石英、玻璃这种极硬材质,又或者树脂这样比较软的材质。
“透镜的研磨我们分为先用机床进行粗磨,人工在进行细磨,打磨掉明显的瑕疵部分,再进行机器精磨……”
赵国庆摇摇头,这样的精度用在摄像机上是够了,但用在光刻机上还远远不够,光刻机的精度是以纳米来计算的,几纳米的偏差,经过光折射之后,误差可能带来良品率的直线下降。
他要放大招了,直接指出两个方向。
赵国庆说:“精磨之后,上光学检测仪,透镜表面的检测结果输入到计算机,由计算机来计算精磨的方案……”
“……”
“赵所长,关键是使用什么样的打磨方案,精度达到纳米这个程度,无论怎么操控,也没办法很精准的控制如此细微的厚度。”
不管是人工,还是机器,到这个时候,甚至透镜上的一粒灰尘,用手一抹,有可能在透镜上造成一条无法弥补的划痕。
赵国庆点点头,机床粗磨可以把精度控制住100微米,人工精磨可以把精度控制在10微米,而机器细磨也只能控制在1微米,也就1000纳米的门槛。
再往下就不是现在的手段能达到的精度了。
引导启发他们,这个过程太慢,小赵老师直接报答案了。
“磁流体打磨!”
光学研究室李明玺疑问道:“磁流体打磨,赵所长,什么是磁流体打磨?”
小赵老师画出一张图,将直径在一百纳米左右的钢粉,混合到非牛顿流体里面。
“将磁流体覆盖到透镜上面,用磁场来控制磁流体来打磨透镜!”
科学之间也就隔了一层纸,打破了也就没有秘密了,赵国庆这么一说,李明玺他们是完全清楚怎么回事了。
就像你修个机场,计算机测绘相当于把地形图画出来,给你修正到每个点需要挖掉多少。
而磁流体则可以在计算机的精准控制下,通过磁场来控制,哪块需要挖掉多少东西。
“钢粉的配比?施加多大的磁场,每秒可以削掉多少?”
需要做的还有很多。
比如一定的磁场一分钟磨掉100纳米,那一秒钟呢?也就有了精确控制的意义。
还有更精密的方法二。
“你们应该知道吧,离子束的注射,可以转变物质的化学性质,通过精确控制离子束的强度,注射时间,也可以精准控制透镜物质转化的程度。”
二组的柴庆金说:“到时候用化学试剂将变质层清洗掉,同样可以更精准的控制打磨的精度……”
赵国庆点点头,说:“伱看,方法都是人想出来的,现在给你们的检测仪器,可都是顶级的高精度光学仪器,怎么做,不需要我再强调吧,对了你们也可以不用这两种方法,谁要是想出更可行的方案,我个人奖励他一百万元人民币……”
“呼……一百万……”
还真有不少人跃跃欲试。
这钱赵国庆也乐意。
事实上,透镜这一块,赵国庆还真没当成技术上的难点,首先透镜的材料,我们国家的石英晶体的提纯可是顶级的,再就打磨,知道原理也就那么一回事。
只不过生产的成本高了一些罢了。
走过光学研究室,隔壁就是激光研究室。
“赵所长!”
“史总工,听说你结婚了,还没来得及恭贺你的!”
原101所激光研究室的抗把子史文秀,一位很要强的女孩子。
激光研究室的研究方向很多氟化氪激光器,氟化氩激光机,二氧化碳激光器,还有半导体激光器,很多款已经开始军用了……
“赵所长,我们的氟化氪激光器已经能做到三十千瓦了!”
赵国庆点点头,这个功率已经可以上光刻机了,小史啊,继续努力,攻克氟化氩激光器吧,193纳米激光器才是未来。
一路过去,半导体材料研究室、碳纤维研究室、金属晶相研究室、eda软件研究室……
一旁跟随在赵国庆身边的周励,又找到了熟悉的感觉,小赵老师又开始教小朋友写作业了。
一直到工台稳定研究室,小赵老师鲜有的皱起眉头。
“赵所长,asml的pa2000光刻机我们已经完全测绘了,包括材料都取样分析了,但是……”
但是还没完全解决工台稳定系统吧!
测绘资料赵国庆也翻了很多遍,运行原理也召开过多次研讨会。
跟赵国庆设想的差不多,用的是三级控制,工台调稳之后,三级调控,每一次调控精度上升一个数量级。
跟人工螺纹差不多,先调到微米精度,再细调到百纳米,再细调到是纳米。
背后依靠的是精准的电流控制,和高精度数字控制伺服电机,还有精准的传感器测量。
pa2000工台稳定系统使用了两种位置控制方式,一个是滚珠丝杠,将螺旋移动转化为水平移动,从角度进行精确控制位移。
其二便是液压控制,用类似继电器一样的装置,通过电流来控制磁场来改变压力,继而可以微调位移。
“从他们控制软件可以看出来,给多少电流,通过反复测试得出来的,他们的传感器精度高,工台边位移边测量,结果直接反馈到计算机,再通过微调进行校正……”
赵国庆认为还是要反复实验,用实验数据来说话。
而伺服电机、液压传动装置、还有滚珠丝杠等等,甚至一个皮带传动,都安排人员进行攻关。
详尽的数据,从数据里面发现规律,总结规律。
“两个月后,带你们去个地方,你们也准备一下,大概需要两三个月的时间!”
赵国庆对周励说:“提醒我一下,隔几天安排微电子研究室,跟他们开个研讨会!”
传感器可以造出来,控制程序又是一个技术点,一个关键的考差点就是响应时间,而压力、光线、电流、磁场各类需求的传感器也有上百种,控制的方案若干。
没事,砸钱……
(本章完)